桂成群  

邮箱:  cheng.gui.2000@gmail.com                                                

武汉大学动力与机械学院教授、千人计划专家

 

教育背景:

1979年7月-1984年7月,清华大学机械制造工艺设备及自动化专业,本科

1984年7月-1986年7月,清华大学管理工程专业,硕士

1987年7月-1989年7月,清华大学机械工程,硕士

1994年9月-1998年11月,特温特大学电子工程,博士

1998年11月-1999年11月,特温特大学电子工程,博士后

 

工作经历:

1986年08月-1993年10月,北京  清华大学,助教、讲师

1993年11月-1994年10月,荷兰  MESA+ Institute, University Twente, Netherlands,访问学者/Research Fellow

1994年11月-1998年11月,荷兰  MESA+ Institute, University Twente, Netherlands,博士/PhD Researcher

1998年11月-1999年10月,荷兰MESA+ Institute Netherlands,微机电系统博士后 / Post Doctor Micro Systems   

1999.11-2001.12   荷兰   ASML  高级系统工程师/ Sr. System Engineer

2002.1-2003.12    荷兰   ASML 技术市场经理/ Technical Marketing Manager  

2004.1-2005.12    荷兰   ASML 平板显示器光刻机项目经理/Program Manager, FPD Scanner Program

2006.1-2008.12    荷兰   ASML战略事业部项目经理/Program manager, Strategic Business Division   

2009.1-2010.12    波士顿/香港   Azores Corporation亚洲区总经理/General Manager Asia Operations   

2010.1-今  荷兰   SIMAX 总裁/President

2016年至今  武汉大学动力与机械学院教授

 

个人专长:

桂成群教授长期从事高端光刻设备和技术的研究,开发和项目领导工作。是一位国际化,跨学科的高端创新型人才。先后在欧洲的ASML公司,美国的AZORES CORP公司,荷兰 SIMAX 公司,ADVANCE TREND 公司等工作15年。领导或参与了MEMS光刻机,TFH薄膜磁头用光刻机,G4/5代平板显示器光刻机,柔性电子光刻机,LED PSS 光刻机的研发和市场化项目。项目总经费累计超过一亿美元。所领导的研发团队从数十人到一百多人。在组织高端设备的研发方面积累了一套国际化的经验。其中,主持或参与的MEMS光刻机,TFH薄膜磁头制造用光刻机,G4.5代光刻机, 等光刻设备研发成功并推向市场。LED PSS(Patterned Sapphire Substrate )光刻机正在研发和市场化的过程中。所主持的光刻机研发项目,取得了200多项专利,其中,申请人本人作为发明人或联合发明人的国际专利或专利申请,近100项次(其中授权40余项美国专利)。代表性的专利发明原理或技术有大面积无掩模板光刻技术原理;用于大面积光刻的光学透镜的设计;用于MEMS光刻机的双面对准技术(3DALIGN);用于TFH薄膜磁头光刻机的图像拼接技术。在ASML工作10年期间发表了论文近十篇;公司内部技术报告200余篇。同时代表ASML,领导并参与荷兰应用科学研究院TNO和比利时IMEC联合创办的开放式创新中心HOLST CENTER的跨学科,跨业界的柔性电子制造项目的研发。取得了数项专利发明和论文。在加入ASML之前,申请人有12年在国内外大学和研究所从事科研和教学的经验。1986年起,在清华大学精密仪器系从事教学和科研工作8年,期间参与了国家七五和八五的科技攻关项目数项,并担任子课题负责人。项目有大型火力发电机组故障诊断系统的研发,新型传感器的研发。获得了国家,教育部和北京市的科技奖励数项。1993年起在荷兰特文特大学MESA+微纳米系统研究所从事研究工作。4年期间在国际期刊上发表论文30余篇;国际会议报告10余次,国际会议大会特邀报告一次。发表博士论文一本。

 

主要社会兼职:

1999年11月-2001年12月,荷兰ASML,高级系统工程师/ Sr. System Engineer

2002年01月-2003年12月,荷兰  ASML,技术市场经理/ Technical Marketing Manager

2004年01月-2005年12月,荷兰  ASML,平板显示器光刻机项目经理/Program Manager, FPD Scanner Program

2006年01月-2008年12月,荷兰  ASML,战略事业部项目经理/Program manager, Strategic Business Division

2009年01月-2010年12月,波士顿/香港  Azores Corporation,亚洲区总经理/General Manager Asia Operations

2010年01月至今,荷兰   SIMAX,总裁/President

2013年04月至今,荷兰   Advance Trend Limited,总裁/President